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线上交谈会仍在继续。
这次轮到了清大副校长,科学院院士黎朔教授。
“终于到我了,我只问江南同学一个有关光源的小问题。”
黎朔教授缓缓开口,问了一个与他本专业有关的问题。
“众所周知,极紫外光刻需要功率极高、稳定性极佳的13。5纳米波长的等离子体光源。现在国际主流是采用高功率二氧化碳激光轰击锡滴靶材产生等离子体,但其中涉及到了复杂的激光靶材相互作用、等离子体调控和碎片管理难题,转化效率和稳定性是公认的世界级瓶颈。”
涉及专业问题,黎朔教授语气严肃。
“既然光刻机从头到尾是西北研究所独立研发,那大家是如何解决这个关键问题的?以及我很好奇,在提升光源功率和延长光镜寿命方面,你个人认为团队最大的创新点是什么?”
虽然观众并不明白这些专业名词指代得到底是什么问题。但从黎朔教授严肃的语气就能感受到这个问题的分量和严重性。
而江南,这次他回答得更快更从容。
“传统锡滴靶材路线面临效率、稳定性和污染三大挑战。我们最初也尝试过深入优化这一路径,但发现受限于基础物理机制和材料特性,短时间内难以取得突破性进展,而且很容易陷入专利纠纷。”
“因此,就像之前在直播中所说,我们选择了一条更具挑战性,但也更彻底的路径。那就是双脉冲协同激发磁约束等离子体光源。”
“简单来说就是放弃了单一的锡滴靶材,转而采用特殊合金薄膜作为靶材。首先用一束超短超强激光脉冲轰击靶材,将其气化成特定状态的前体等离子体团。紧接着在最佳时机,第二束主激光脉冲精确作用于这个前体等离子体团,进行二次激发和约束。”
“至于收集镜寿命,除了在收集镜表面使用我们自主研发的、耐等离子体轰击和自修复能力更强的多层膜材料外,更重要的是我们通过精密反馈系统实时监测等离子体状态,能够确保产生的等离子体‘更干净’,从源头上减少对收集镜的损伤。目前,我们光源的功率稳定在350瓦以上,收集镜的维护周期远超传统路线。”
一串串精准的参数,一个个闻所未闻却又逻辑严谨的技术名词从江南口中源源不断吐出。他好像根本不需要思考,又或者这些东西就像血液一样早就根植于江南的身体中。
旁边的直播弹幕中全是“大神我听不懂”、“太专业了有没有大佬翻译”、“妈妈这不是我该来的地方”等等感叹哀嚎。
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而华国之前发言过得两位教授,以及现场的诸多实验室同仁,有的明显心潮澎湃呼吸粗重,有的则陷入沉思甚至现场就开始拿笔记记录,显然受到了极大启发——
而交谈会上,黎朔教授听完后沉思了几秒,话筒中传来叹服至极得鼓掌声。
“你啊……你远远比我想象得更加优秀,这完全是超越时代的科研成就。我算是明白了,光刻机在华国面世其实是必然!”
随后,黎朔话锋一转,如亲切得长辈般笑着开口。
“聊了这么久,技术层面的问题我看今天就先到这里吧……你是看不见,我旁边的两位教授已经在奋笔疾书了,恐怕再问下去,他们立刻就得坐不住直奔光刻机实验室把你绑过来……”
这幽默夸张的话引得华国代表团一阵轻笑,西北实验室现场也一阵善意的笑声。
至于直播弹幕,上面已经满屏“哈哈哈”表情包了。
“黎教授好可爱哈哈哈哈哈,居然还会开玩笑的吗。”
“奋笔疾书?原来不止我们这些学生听不懂需要录屏录音,顶尖大牛们也要现场记录啊,突然觉得我离他们也很近嘛。”
“前面的别想了,你那是幻觉。你记录是压根听不懂,人家教授是启发出了新想法,这可不一样哈。”
“没所谓,就刚才那一刻,我宣布我跟两位清大教授共情了:死手快记啊,赶紧把江南透露的精华全记下来!”
“原来这就是清大教授们啊,居然这么可爱,他们看江南不就是长老看待宗门天骄吗,”
“没那么冷漠,江南比这个程度还珍贵。”
“非得说的话,我觉得像老祖重生哈哈哈哈……”
“那可是江南啊,是以一己之力扛起华国半导体行业的狠人,俩教授这么喜欢他是必然的,要我我也喜欢!”
直播镜头中,黎朔副校长自然得提及另一个问题,语气亲切得像是聊家常。
“趁这个机会,我忽然想问一个不那么专业但想必大家都很感兴趣的问题。”
“我们都知道每一个超出时代的研究或者发明,突破瓶颈时其实都需要天才的灵光一闪和大众难以想象的艰苦耕耘。我私下也向西北研究所的几个老朋友了解了。他们告诉我光刻机后期超过百分之五十的关键进展和难题破解,核心思路几乎全部由你提供——所以江南同学,你那些石破天惊得想法到底怎么来的,你能跟大家分享的经验是什么呢?”
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